ساخت نخستين ميكروسكوپ الكتروني چند پرتوي جهان به‌دست پژوهشگر ايراني دانشگاه هلند
مهندس محمدي قيداري، محقق ايراني دانشگاه «دلفت» هلند با همكاري دو محقق ديگر در اين دانشگاه موفق به ساخت نخستين ميكروسكوپ الکتروني چند پرتوي با کيفيت و سرعت تصويربرداري بسيار بالا شدند. به گزارش خبرگزاري دانشجويان ايران (ايسنا)، پيشرفت در زمينه تجهيزات ميكروالكترونيك، ميكرومصنوعات و علوم مواد تقاضا براي ابداع ابزاري با رزولوشن فضايي بسيار بالا و بي‌نظير را افزايش داده و نمونه‌هايي كه پيش از اين از ابزار ميكروسكوپي ساخته شده و مبتني بر ليتوگرافي پرتويي ذرات باردار بوده‌اند به دليل وجود سيستمهايي پرتويي منفرد نتوانسته‌اند پاسخگوي نياز متقاضيان باشند، اما اين بار دكتر قيداري و دستياران وي موفق شدند اولين ميكروسكوپ الكتروني تصويربرداري چند پرتويي (MBSEM) را طراحي كنند كه به اين نياز روز افزون پاسخ خواهد داد.
اين ميكروسكوپ قادر است هر مجموعه از پرتوها را روي يك ورقه باريك و بسيار نازك با رزولوشن شبيه به قدرت وضوح وضعيت فوق‌العاده عالي از ي ميكروسكوپ تك پرتويي SEM بتاباند.
به گفته محمدي، اگر چه اين سيستم اساسا براي توليد ظرفيت پذيرش بالا از ساختارهاي زير 10 نانومتر با فن‌آوري پرتو الكتروني القا كننده استقرار يا EBID طراحي شده است، اما در عين حال مي‌توان از آن براي ليتوگرافي و بازرسي با پرتو الكترونيكي داراي ظرفيت پذيرش بالا نيز استفاده كرد.
وي خاطرنشان كرد: اين سيستم متشكل از يك ستون SEM200 نانو نووآ به مدل تازه طراحي شده منبع الكتروني چند پرتويي مجهز بوده و قادر است 200 پرتو با خصوصيات کاملاً مشابه را با کيفيت تصوير زير يک نانومتر، به طور همزمان روي نمونه مورد نظر ارسال كند.
در اين سيستم هر پرتو منفرد از يك منبع الكترون روشن SCHOTTKY به درون 100 وزنه پرتويي نفوذ مي‌كند كه روي هر كدام يك مجموعه لنز ALA بر روي مجموعه 13A متمركز مي‌شود. سپس الگوي مورد نظر با تصويربرداري همزمان پرتوها روي لايه نازك رونويسي شده و در عين در زمان مناسب تك تك پرتوها خالي مي‌شوند.
محمدي قيداري مي‌گويد: ما اخيرا كارايي ميكروسكوپ MBSEM را آزمايش كرده و به نتايج موفقيت آميزي دست يافته‌ايم.
به گزارش ايسنا، علي محمدي قيداري كه 31 سال دارد متولد روستاي علي آباد از توابع شهرستان خدابنده است که تحصيلات خود را تا مقطع كارشناسي ارشد در رشته فيزيک حلت جامد در دانشگاه‌هاي زنجان و تربيت معلم تهران به اتمام رسانده و از دو سال پيش تحصيلات و تحقيقات خود را در دانشگاه «دلفت» هلند پي گرفته است.
ایسنا
http://www.techmart.ir/fa/?c=content&id=1228
